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SPM检测仪表是一种高精度的表面形貌检测仪器，可以用于检测各种材料表面的形貌、光学、电学性质，并用于材料的纳米级加工、制备和表征。工作原理是利用探针在被测物表面上来回扫描，通过探针与被测物之间的相互作用来确定物件的表面形貌和电学性质。探针的尖通常由钨或硅制成，其锐利程度可以到达几个纳米尺度，使其可以扫描到被测物表面的z小区域。
SPM检测仪表主要有以下三种工作模式：
1.原子力显微镜（AFM）
AFM是常用的SPM模式之一。它利用探头与被测物表面的相互作用力，可以显微成像并实现三维表面扫描。此模式适用于纳米尺度下的几何结构直接测量，可以实现表面形貌、电子状态、电荷屏蔽、原子感应力等检测。
2.扫描隧道显微镜（STM）
STM是第二种常用的SPM模式之一。其利用电子的隧穿效应与被测物表面的相互作用，将隧道电流转化为探针上下移动的垂直位移，并测量被测物表面上的原子尺度电子密度。相比于其他检测方法，STM检测精度更高，但只能用于金属和半导体表面材料的原子级别的表面局部结构分析。
3.磁力显微镜（MFM）
MFM是SPM的第三种常用模式之一，广泛应用于磁性材料表面形貌和磁性状态的测量。其工作原理是使用具有磁性探针，通过在扫描过程中感知被检测物中的磁场，以来确定其磁性信息，从而实现对磁性材料表面结构和性质的分析和研究。
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SPM检测仪表的三种工作模式